В Петербургском политехническом университете Петра Великого разработали производственный комплекс, который может выпускать наноструктуры для микроэлектронного оборудования.

Представлен его промышленный образец, состоящий из двух установок: безмасочной нанолитографии и плазмохимического травления кремния.

Комплекс снабжён новым специальным программным обеспечением, и полностью автоматизирован. А его стоимость – лишь 5 млн рублей, в отличие от зарубежных аналогов, стоящих от 10 до 13 млрд рублей.

Это ещё один вклад петербургских учёных в технологический суверенитет России.